15 Stück 3 μm MEMS-Biosensor-Chip

- Präzisionsgefertigter Linienabstand von 3 μm mit 5 μm Linienbreite und 1500 μm Fingerlänge, mit 120 ineinandergreifenden Paaren (240 Fingern) for hochempfindliche Erkennung.
- Konstruiert auf einem monokristallinen Siliziumsubstrat vom P-Typ mit einer 300-nm-SiO2-Isolierschicht, die eine stabile elektrische und zuverlässige Signalübertragung gewährleistet.
- Die Leiterschicht aus Cr/Au (30 nm/100 nm Dicke) bietet hervorragende Leitfähigkeit und Widerstandsfähigkeit, ideal for den Langzeitbetrieb des Sensors.
- Großer Betriebstemperaturbereich von -100 °C bis +500 °C, geeignet for anspruchsvolle optische, biologische und chemische Sensorumgebungen.
- Die große Substratgröße (4 mm x 7 mm x 0,52 mm) mit übergroßen Pads vereinfacht das Drahtbonden und die anschließende Montage und erhöht so die Fertigungseffizienz.